Το ομοιόμορφο λεπτό φιλμ ινδικό οξείδιο του κασσίτερου (ITO), το οξείδιο ψευδαργύρου αλουμινίου (AZO), το οξείδιο του ψευδαργύρου (ZnO) και τα στρώματα οξειδίου του φθορίου που συνήθως παράγονται από την τεχνολογία πυρόλυσης με υπερηχητικό ψεκασμό. Αυτή η μοναδική διαδικασία απαιτεί εξειδικευμένο εξοπλισμό επικάλυψης για τη δημιουργία του απαραίτητου πάχους και σχήματος επικάλυψης και για ψεκασμό διαβρωτικών λύσεων σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας.
Κατά τη διάρκεια της υπερηχητικής πυρόλυσης υψηλής θερμοκρασίας, το πρόδρομο διάλυμα (όπως το οξείδιο του ψευδαργύρου αλουμινίου) ψεκάζεται πάνω στο υπόστρωμα θερμαίνεται σε περίπου 300-500. Ο διαλύτης εξατμίζεται κατά τη διάρκεια της μεταφοράς και μια κρυστάλλινη μεμβράνη ZnO αναπτύσσεται στην επιφάνεια του υποστρώματος, συνήθως ασβέστιο νατρίου ή άλλο γυαλί. Η θερμοκρασία του υποστρώματος καθορίζει συνήθως τα μορφολογικά χαρακτηριστικά της μεμβράνης.
Η υπερηχητική υγρή εναπόθεση ψεκασμού παρέχει στους κατασκευαστές μια οικονομικά αποδοτική εναλλακτική λύση στην εναπόθεση κενού και το ψεκασμό, με υψηλότερη απόδοση μεταφοράς. Το μέγεθος των σταγονιδίων που παράγεται από το ακροφύσιο υπερήχων ψεκασμού είναι εξαιρετικά ομοιόμορφο, το οποίο μπορεί να επιτύχει το βέλτιστο μέγεθος των σταγονιδίων για αντίδραση πυρόλυσης και όλα τα σταγονίδια θα αντιδράσουν ταυτόχρονα με τον ίδιο τρόπο κατά τη διάρκεια της διαδικασίας εναπόθεσης. Είτε πρόκειται για έρευνα και ανάπτυξη ή μαζική παραγωγή, αυτό θα φέρει αποτελεσματικές διαδικασίες παραγωγής TCO.
Η χρήση του διασκεδαστικού ακροφυσίου υπερήχων ξεπερνά την πρόκληση της διαδικασίας του ψεκασμού εξαιρετικά διαβρωτικών οξέων. Το ακροφύσιο είναι κατασκευασμένο από δομικά υλικά ανθεκτικά στη διάβρωση και έχει τις ιδιότητες χωρίς απόφραξη, επαναληψιμότητα και μεγάλη διάρκεια ζωής. Μπορεί ακόμη και να ψεκάσει εξαιρετικά διαβρωτικό υδροχλωρικό οξύ ή διαλύματα υδροφθορικού οξέος.
Πλεονεκτήματα του συστήματος πυρόλυσης υπερηχητικού ψεκασμού για επικάλυψη TCO:
1. Σε σύγκριση με τη διαδικασία CVD (εναπόθεση χημικών ατμών), η υπερηχητική πυρόλυση ψεκασμού είναι απλή, ευέλικτη και οικονομικά αποδοτική.
2. Αποδεδειγμένη τεχνογνωσία επικάλυψης TCO.
Σε σύγκριση με άλλες μεθόδους ψεκασμού, τα υπερηχητικά ακροφύσια μπορούν να καταθέσουν περισσότερα ομοιόμορφα στρώματα.
4. Εύκολη προσαρμογή και επαναλαμβανόμενες παραμέτρους επικάλυψης.
5. Πλήρως ενσωματωμένη πατενταρισμένη τεχνολογία υπερήχων ακροφυσίων και υγρή παράδοση, παρέχοντας μια πλήρη λύση επικάλυψης.
Εναλλακτικές διαδικασίες ψεκασμού χαμηλής θερμοκρασίας (250 βαθμοί και κάτω) είναι συνεχώς αναδυόμενες και πραγματοποιήθηκαν περισσότερες έρευνες και ανάπτυξη σε χημικά που δεν χρειάζονται υποστρώματα στόχων υψηλής θερμοκρασίας.
