Τεχνολογία υπερήχων ψεκασμού για εναπόθεση ατμών κενού

Το σύστημα ψεκασμού υπερήχων χρησιμοποιείται για την ενσωμάτωση σε θάλαμο κενού. Μέσα από πειράματα, έχει αποδειχθεί ότι ο μοναδικός σχεδιασμός του συστήματος ψεκασμού υπερήχων μπορεί να ενσωματωθεί σε πλατφόρμα σφραγισμένης κενού, κατάλληλη για εφαρμογές όπως η εναπόθεση ατμών πολυμερών (PVD) και η μεταλλική εναπόθεση χημικών ατμών (MOCVD). Η χαρακτηριστική ψεκασμού χαμηλής ταχύτητας που παράγεται από το σύστημα ψεκασμού υπερηχητικής ψεκασμού μπορεί να παράγει ένα σύννεφο ατμών με σφιχτή κατανομή σταγονιδίων και μέγεθος σταγονιδίων ελεγχόμενης συχνότητας. Λόγω του γεγονότος ότι τα ακροφύσια υπερήχων ψεκασμού λειτουργούν με τη μετατροπή των ηχητικών κυμάτων υψηλής συχνότητας σε μηχανικούς δονήσεις, το υγρό σε επαφή με την επιφάνεια του ακροφυσίου είναι ψεκασμένη χωρίς να προσθέτει αέρα ή αέριο, οπότε η ακεραιότητα του θαλάμου κενού δεν αποδυναμώνεται κατά τη διάρκεια της διαδικασίας ψεκασμού.

Η τεχνολογία γεννήτριας υπερήχων που ενσωματώνεται στο σύστημα ψεκασμού υπερήχων ψεκασμού παρέχει την απαραίτητη ηλεκτρική ενέργεια για ψεκασμό και είναι εξοπλισμένη με προηγμένη λειτουργία εξισορρόπησης φορτίου, η οποία μπορεί να προσαρμοστεί αυτόματα για να προσαρμοστεί σε διαφορετικές συνθήκες κενού, διατηρώντας έτσι τα πιο σταθερά χαρακτηριστικά ψεκασμού κατά τη διάρκεια της διαδικασίας εναπόθεσης κενού.

Το σύστημα ψεκασμού υπερήχων ψεκασμού είναι κατάλληλο για περιβάλλοντα κενού υψηλής θερμοκρασίας και διαθέτει λειτουργία παρακολούθησης ψύξης και παρακολούθησης της θερμοκρασίας για να εξασφαλίσει την κατάλληλη θερμική προστασία.

Πλεονεκτήματα της εφαρμογής του θαλάμου κενού:

• Ηλεκτρονικές συσκευές σχεδιασμένες για εξισορρόπηση φορτίου
• Προστασία και παρακολούθηση υψηλής θερμοκρασίας
• Μοναδική σχεδίαση περιορισμού ροής υγρού κενού
• Η ψεκασμού παράγεται απουσία αέρα/αερίου, διατηρώντας την ακεραιότητα κενού